Description
Roth & Rau Muegge GmbH Magnetron Sputter Head, MH3000S 224CV
Modell: MH3000S224CV
Daten:
5100V
2,45GHz
900mA
3000W
Elektrische Daten:
Spannung-Eingang: 5100V
Frequenz-Ausgang: 2,45GHz
Strom-Eingang: 900mA
Leistung-Ausgang: 3000W
Magnetron Sputter Heads für Beschichtungsanlagen
1xDirectional Detector 2450MHz: MM 1002D-110AB
ME0118P-131AB
ME0118P-140AB
Lüfter auf der linken Seite des Magnetronheads
Pneumatik-Motor auf der rechten Seite des Magnetronheads
Das Magnetronsputtern ist ein plasmagestütztes Abscheideverfahren, bei dem energiereiche Ionen auf ein Target beschleunigt werden. Die Ionen treffen auf das Target und die Atome werden von der Oberfläche ausgestoßen (oder gesputtert). Diese Atome wandern in Richtung des Substrats und werden in die wachsende Schicht integriert.
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